2025/11/06 シェア 低電力で水銀不使用 ニコン初の UV-LED 光源 FPD 露光装置 ニコンは、UV-LED 光源を採用した FPD 露光装置「FX-88SL」「FX-88SLD」を発表した。4 回のスキャンで、2290 × 2620mm の第 8 世代プレートを全面露光できる。 [続きを読む] 提供元 : EDN Japan
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