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業界ニュース

2025/09/12

6 倍の高速処理を実現 リガクの全反射蛍光 X 線分析装置

リガクは、同社従来モデル比で最大 6 倍の高速処理を可能にした、全反射蛍光 X 線分析装置「XHEMIS TX-3000」を発売した。半導体製造において、ウエハー表面の微量汚染分析に対応する。 [続きを読む]
提供元 : EDN Japan

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