2025/09/12 シェア 6 倍の高速処理を実現 リガクの全反射蛍光 X 線分析装置 リガクは、同社従来モデル比で最大 6 倍の高速処理を可能にした、全反射蛍光 X 線分析装置「XHEMIS TX-3000」を発売した。半導体製造において、ウエハー表面の微量汚染分析に対応する。 [続きを読む] 提供元 : EDN Japan