2025/08/27 シェア 解像度 1.5 μ m のステッパー露光装置、ウシオ電機 ウシオ電機は、半導体アドバンスドパッケージ向けの新型ステッパー露光装置「UX-59113」の開発を完了し、2026 年度中に発売する。解像度 1.5 μ m で 100mm 角以上の露光フィールドを 1 ショットでできる。 [続きを読む] 提供元 : EDN Japan
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