業界ニュース

2018/11/06

代替部品が見つからない減圧ポンプコントローラの修理 (電源編)

半導体デバイスの製造に使用される減圧ポンプコントローラーの修理依頼があった。不具合内容は『スイッチ操作でモーターが動作しない』という内容だった。電源が関係した不具合と想定され、機器の取扱説明書も添えられていたので修理を引き受けることにした。というわけで今回は、この減圧ポンプコントローラーの修理を報告する。 [続きを読む]
提供元 : EDN Japan

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