「ナノセブン」は、レーザー光による非接触方式でナノレベルの表面粗さ、うねり、段差高さの形状を広範囲・短時間に計測する事が可能です。特長
・構成:本体・コントロールBOX・計測用PCです。
・卓上設置が可能でコンパクトなサイズになっています。
・25mm x Y25mmのワイドレンジで計測が可能です。
・各種顕微鏡及び計測装置と比較して広い範囲に有効性があります。
・測定原理:ナノセブンでは、光ヘテロダイン干渉をその原理とし光学構成されています。異なる周波数光の動く干渉縞から得られる信号の位相解析し計測されます。
・測定分解能・精度:光ヘテロダイン干渉法で形成した2つのレーザ光を計測対象へ照射する事で光の位相が発生します。この光の位相差を電気的に検出する事で光波長を高さの基準とし測定精度を得て保証しています。
・校正:「段差標準ゲージ(VLSIスタンダード社/USA」の8、18、44、88nmの各段差標準ゲージで校正しています。