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FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ WAFER 蛍光X線式測定器 フィッシャー・インストルメンツ
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商品説明

ポリキャピラリーレンズを搭載し、ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別設計された高性能蛍光X線式測定装置です。・ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別設計されたモデル
・革新的なポリキャピラリ―レンズを搭載し、非常に小さな測定スポットにおいて大きな励起強度を得ることが可能

商品スペック

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【測定元素範囲】Al(13)~U(92)
【X線検出器】シリコンドリフト検出器(SDD)
【X線管球】マイクロフォーカスチューブ
【プライマリフィルター】4種類(切替式)
【X線光学系】ポリキャピラリーレンズ Φ20µm (オプション Φ10µm)
【本体寸法】680 x 900 x 690mm (幅 x 奥行 x 高さ)
【ウェハーサイズ】6, 8, 12インチに対応
【消費電力】最大120W

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