【シングルプローブプローブ周波数(MHz)】5～75
【アレイプローブ周波数(MHz)】25, 50, 75
【アレイプローブ素子数】25, 50MHz : 128、75MHz : 192
【アレイプローブ最大同時駆動励振数】16
【マルチゲート数】シングルプローブ : 64、アレイプローブ : 2
【有効ストローク(X×Y×Z)(mm)】標準タイプ:シングル/アレイプローブ単独装着時 350×350×80、シングル/アレイプローブ併用装着時 295×350×80、ワイドタイプ:シングル/アレイプローブ単独装着時 660×600×150、シングル/アレイプローブ併用装着時 600×600×150
【最大走査速度(mm/s)】1,000 [公称値]
【外形寸法(W×H×D)(mm)】2,000×1,340×940
【質量(kg)】約450
【電源(電圧/電流/周波数)】AC100V/15A/ 50/60Hz