レンズや金属の表面形状をナノオーダで計測し、解析できます。サンプルの材質によらず、研磨面(鏡面)であればほとんど非接触観測が可能です。干渉縞を自動的に解析し数値化する縞解析装置も揃っており、使いやすさを追求した高機能・高性能計測システムです。高精度平面板(ガラス、金属、セラミックなど)の平面度測定、光学レンズ、鋼球、プラレンズの面精度測定など、さまざまな用途に対応します。G102Sは裏面反射の影響を除去する新方式を採用。厚さ0.1mm以上の平行平面ガラスの測定が可能。スイッチの切換えにより通常のレーザー干渉計としても使用可能。
•φ102mm高精度平面板(ガラス、金属、セラミック等)の平面度測定、透過波面測定。
•ズームレンズ内蔵により小口径被検体も測定可能。
•コリメーターレンズ※を交換することにより最大φ150mmまでの被検体を測定可能。
•リモートコントロールが付いており、アライメント切替、光量調整、ズーム調整、フォーカス調整が簡単に調整可能。
•G102SはG102をベースに光源部に裏面反射の影響を除去する方式を採用。そのため、薄板ガラスや平行平面板など裏面の干渉縞が発生する被検体をG102Sを使用することで、表面形状を正確に測定することが可能。