レンズや金属の表面形状をナノオーダで計測し、解析できます。サンプルの材質によらず、研磨面(鏡面)であればほとんど非接触観測が可能です。干渉縞を自動的に解析し数値化する縞解析装置も揃っており、使いやすさを追求した高機能・高性能計測システムです。高精度平面板(ガラス、金属、セラミックなど)の平面度測定、光学レンズ、鋼球、プラレンズの面精度測定など、さまざまな用途に対応します。F601は世界一のシェアを誇るコンパクトタイプ。コンパクトで独自のアライメント機構により反射光を素早く見つけられ、計測時間を短縮できます。
•φ60mm高精度平面板(ガラス、金属、セラミック等)の平面度測定、透過波面測定。
•ビームコンプレッサ(2倍拡大レンズ)とセットで使用することにより、面積が小さい被検体(φ5mm～φ25mm程度)でも測定可能。
•反射率の低い(約0.1%)被検体を測定したい場合、超低反射測定用に改造可能。