【試験空気量】28.3L/min
【必要空気量】0.5MPa 40L/min以上(加湿ユニットを含む)
【検査装置本体・吸引ポンプ】ローボリウムポンプ LV-40BW型
【加湿ユニット・湿度発生方法】PTFEチューブによるバブリング
【加湿ユニット・調節湿度】約30 ～50%rh(BFE検査装置ガラスチャンバー内)
【加湿ユニット・湿度制御】加湿タンクの水温度制御で調整
【加湿ユニット・加湿空気】乾燥空気量で調整
【検査装置本体・懸濁供給ポンプ】送液量 0.002～24ml/min
【検査装置本体・ネブライザー】ガラス製 シカゴネブライザー同等
【検査装置本体・エアロゾルチャンバー】ガラス製 ODφ80mm
【検査装置本体・アンダーセンサンプラー】微生物粒子用 AV-100特型
【検査装置本体・圧力計】圧力計0～0.100MPa
【加湿ユニット・耐圧】0.2MPa
【電源】< 検査装置本体 > AC100V 50/60Hz 1A 、< 加湿ユニット > AC100V 50/60Hz 5 A
【寸法・質量】< 検査装置本体 > 約 530(W) × 470(D) × 1038(H)mm、< 加湿ユニット > 約 600(W) × 346(D) × 600(H)mm