GI-D7 電離真空計アルバック | 計測器

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アルバック

電離真空計

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形名：

GI-D7

アルバック圧力計 GI-D7

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販売開始: 2017 年 3 月

販売状況: 販売中

販売開始時参考価格: －

サポート状況: サポート中

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商品説明

中真空～超高真空領域の測定が可能な熱陰極型電離真空計です。10+1〜10-8Pa(メタル管球タイプ、GI-M2)、10-1〜10-6Pa(ガラス管球タイプ、GI-D7)
特長
・9.9Paから5×10-8Paの8桁半にわたる幅広い測定が可能(GI-M2)
・用途に応じた測定子の選定が可能(他にヌードタイプも可能)
・測定子が小型・金属製のため、割ってしまうなどの不慮の事故を防止(GI-M2)
・気体の種類によって感度設定ができるため、より正確な圧力測定が可能
・測定レンジを固定して使用される場合に最適
・セットポイント2点の出力可能
・フィラメント1/2切り替え、感度設定、レンジホールド設定、DEGAS設定など
・RS232C通信が標準装備
・BCD出力が標準装備
・圧力は0〜10V出力(疑似Log出力)

用途
・GI-M2
・スパッタリング装置
・蒸着装置(ターボ分子ポンプ)
・その他超高真空・高真空装置など
・GI-D7
・真空熱処理炉
・真空ろう付炉
・蒸着装置(拡散ポンプ)
・炉などの一般産業機器

商品スペック

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【測定圧力範囲】
WIT: 1.30×10-5 ～ 6.7×10-1 Pa
WIB: 1.30×10-6 ～ 2.3×10-2 Pa
【測定精度】±15%
【圧力表示】仮数部3桁,指数部2桁のデジタル表示 □.□□×10□□
【適用測定子】WIT-G1, WIT-G2, WIT-G3, WIT-G8, WIB-G5, WIB-N3
【サンプリング時間】100ms
【DEGAS】直接通電加熱方式 AC power 1.5VA
【機能】レンジホールド設定、感度係数設定、フィラメント選択
【測定値出力】仮数部リニア出力、擬似Log出力、レンジホールドリニア出力(0 ～ 10VDC)、ログ出力
【制御入力信号】制御切替、フィラメントON/OFF、フィラメント1/2、DEGAS ON/OFF、レンジホールド
【制御出力信号】アナログ出力(0 ～ 10V)、BCD出力、フィラメントON/OFF、エミッション設定、DEGAS ON/OFF
【セットポイント】独立2点(接点容量 AC125VMAX, 0.5AMAX / DC24VMAX, 1.0AMAX)
【シリアル通信仕様】RS232C
【使用温度範囲】10 ～ 40 °C
【使用湿度範囲】15 ～ 80%(ただし結露なきこと)
【電源電圧】AC100±10V 50/60Hz, 120VA
【ヒューズ】BS. SEMKO 3.15A (2pcs)
【外形寸法】W×D×H 240mm×380mm×99mm
【質量】5.7kg