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PHEMOS-1000 エミッション解析装置 浜松ホトニクス
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商品説明

PHEMOS-1000は、半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定する高解像度エミッション顕微鏡です。汎用プローバと組み合わせて解析することが可能なため、使い慣れたサンプルセッティングのまま各種解析が可能です。レーザスキャンシステムのオプション搭載により、高解像度なパターン像の取得が可能です。また、発光解析や発熱解析、IR-OBIRCH解析など、様々な解析手法に対応した複数の検出器を選択することができます。ソケットボードから大型の300 mmウェーハプローバまで多彩な用途にバランスよく対応します。

商品スペック

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【検出機能】デバイスの発光(エミッション検出機能)、レーザー照射による電気変動(OBIRCH機能)
【対象デバイス】200mm/300mmウェーハ
【使用可能なプローバ】200mm/300mm

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