計測器

基本情報

販売開始
2018 年 11 月
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販売中
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VS1800 ナノ3D光干渉計測システム 日立ハイテクノロジーズ

商品説明

光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。また、多層膜の層構造および層内部の異物計測を非破壊で行うことも可能です。
材料の平たん化や薄膜化、微細構造化が急速に進み、従来、一般的であったSPM(走査型プローブ顕微鏡)や触針式粗さ計、レーザー顕微鏡などを上回る計測精度が求められています。
光の干渉現象を利用する走査型白色干渉顕微鏡を、より使いやすく、手軽に導入できるようにした本製品では、高精度かつ広範囲な表面形状計測を高速に行うことができます。
特長
1.高分解能・広範囲
2.高い測定再現性
3.高速測定
4.非破壊計測
5.簡単計測
6.柔軟な導入

商品スペック

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【Z軸】モーター駆動:標準搭載(最大測定Zレンジ~10 ㎜)、PZT駆動:追加オプション(最大測定Zレンジ~150 μm)
【XYステージ】駆動方式:Type1(標準)手動、Type2/3(オプション)電動、移動領域:Type1(標準)±50 mm、Type2/3(オプション)±75 mm、ステージサイズ:Type1(標準)W205 × D150 mm、Type2/3(オプション)W225 × D225 mm
【ゴニオステージ】駆動方式:Type1/2 手動、Type3 電動、移動領域:Type1(標準)±2°、Type2/3(オプション)±5°
【測定用カメラ】標準カメラ または 高画素カメラ
【鏡筒】×1 または ×0.5
【ズームレンズ】×0.7レンズ(追加オプション)
【対物レンズ】×2.5 ×5 ×10 ×20 ×50 ×110
【サンプル高さ】標準:0~50 mm、かさ上げキット(追加オプション)使用時:Type1 50~100 mm、Type2/3 0~100 mm
【コンピュータ OS】Windows 10
【除振台(架台付き)】パッシブ型 または アクティブ型

オプション

  • - Type 2
  • 販売時参考価格:ー
  • XYステージ①駆動方式:電動、②移動領域:±75 mm、③ステージサイズ:W225 × D225 mm、ゴニオステージ駆動方式:手動、サンプル高さ(かさ上げキット使用時):0~100 mm
  • - Type 3
  • 販売時参考価格:ー
  • XYステージ①駆動方式:電動、②移動領域:±75 mm、③ステージサイズ:W225 × D225 mm、ゴニオステージ駆動方式:電動、サンプル高さ(かさ上げキット使用時):0~100 mm

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