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S-3400N 走査電子顕微鏡 日立ハイテク
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商品説明

「S-3400N」は、熱電子銃形N-SEMシリーズの新機種として、電子光学系の新設計により、電子光学系のワンタッチ自動軸調整を実現。従来マニュアル操作だった、軸調整を自動化しました。操作する方の熟練度に依存せず、良質な画像データを得ることができます。

商品スペック

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【二次電子像分解能】3.0nm保証 (高真空)(30kV)
【二次電子像分解能】10nm保証(高真空)(3kV)
【反射電子像分解能】4.0nm保証(低真空モード)(30kV)
【倍率】5~300,000倍
【加速電圧】0.3~30kV
【低真空度設定】6~270Pa(グラフィックメニューデ設定)
【イメージシフト】±50μm(WD=10mm)
【最大試料寸法】200mm径

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