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FT160Sh 蛍光X線膜厚計 日立ハイテク
販売開始
販売状況
販売中
販売開始時参考価格
17,500,000 円 (税抜き)
サポート状況
サポート中
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商品説明

微小・微細な電子部品などに施されたナノオーダーレベルのめっき膜厚測定に対し、ポリキャピラリ光学系と高性能半導体検出器を搭載し、高精度・高スループットを実現した蛍光X線膜厚計最新モデルです。

商品スペック

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【X線発生源】高エネルギー W【測定対象元素】13Al から92U
【試料台(mm)】300(W) × 245(D)
【測定可能試料サイズ(mm)】300(X) × 245(Y) × 80(Z)

オプション

  • ウェーハホルダ -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • タッチパネルモニタ -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • 非常停止スイッチBOX -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • シグナルタワー -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • プリンタ -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • スペクトルマッチングソフトウェア -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • バルクFPソフトウェア -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • ステージ動作制限設定 -
  • 販売開始時参考価格:ー

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