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FT110A 蛍光X線膜厚計 日立ハイテク
販売開始
販売状況
販売中
販売開始時参考価格
6,100,000 円 (税抜き)
サポート状況
サポート中
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商品説明

自動位置決め機能により、試料台の上にサンプルを置くだけで、試料観察光学系の焦点を数秒以内に自動的に合わせることができます。これにより、従来は手動で行っていた焦点合わせの操作が無くなり、測定にかかわるスループットが格段に向上しました。

商品スペック

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【測定元素】原子番号Ti(22)~Bi(83)【線源】小型空冷式X線管球 管電圧:50kV 管電流:40~1000µA(可変)
【検出器】比例計数管
【コリメータ】○型: 0.1mmΦ、0.2mmΦ 他2種
【試料観察】CCDカメラ(広域観察可能)
【焦点合わせ】レーザーポインタ(自動)
【フィルタ】一次フィルタ: 自動切替え
【試料ステージ】[固定] 535×530mm [電動] 260×210mm (移動量 X:250mm, Y:200mm)
【測定ソフト】薄膜FP法 (最大5層膜、10元素)、検量線法
【安全機能】試料扉インターロック、試料の衝突防止機能、装置診断機能

オプション

  • Coフィルタ -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • 広域画像システム -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • ステージコントローラ -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • シグナルタワー -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • 日本向けプリンタ -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • 画像処理ソフトウェア -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • バルク検査線(めっき液測定) -
  • 販売開始時参考価格:ー
  • バルクFP(金属成分比測定) -
  • 販売開始時参考価格:ー

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