計測器

レーザ干渉変位計システム

小野測器 LV-2100A

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販売中
販売時参考価格
2,500,000 円〜
サポート状況
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LV-2100A レーザ干渉変位計システム 小野測器
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商品説明

従来の振動変位の検出は、加速度(m/s2)あるいは速度(m/s)から変位への変換が中心でした。しかし MEMS(Micro Electro Mechanical System)や圧電素子応用のアクチュエータなどは、矩形駆動や DC オフセットで挙動するものが多く、従来の加速度センサやレーザドップラ振動計での積分処理による変位換算では正しい変位計測ができませんでした。
レーザ干渉変位計 LV-2100A は、無負荷・非接触で MEMS や圧電素子の微小・高速振動変位を 1 MHz サンプリング、0.155 nm の高変位分解能で、DC から直接検出可能です。レーザスポット径は最小 φ1.5 μm と高空間分解能。
ディジタル変位出力は振幅レンジ依存の分解能低下がありません(アナログ出力と比較して)。

オプションの変位解析ソフトウェア(LV-0930)をはじめ、FFT アナライザや『Oscope/Oscope Professional』時系列解析ツール等の豊富なハード・ソフト群がより効果的な計測・解析をサポートします。

商品スペック

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【変位分解能 0.155 nm
【サンプリング周波数】アナログ出力:1 MHz 固定
【ディジタル出力】USB Ver. 2.0 (Full Speed),コネクタタイプ:ミニBタイプ

オプション

  • XY軸微動ステージ LV-0015
  • 販売時参考価格:95,000 円〜
  • センサの精密な位置合わせが可能な XY 軸微動ステージです。
    (ステージ面:60×60mm、移動量:±5mm)
  • Z軸微動ステージ LV-0016
  • 販売時参考価格:120,000 円〜
  • センサの精密な上下位置合わせが可能なZ軸微動ステージです。
    (ステージ面:60×60mm、移動量:0~10mm)
  • 大型三脚 LV-0017A
  • 販売時参考価格:150,000 円〜
  • 定盤が無い場所でのセンサヘッド設置に使用します。
  • スチールプレート LV-0018A
  • 販売時参考価格:10,000 円〜
  • 三脚に装着する事でマグネットスタンドを三脚上で使用できます(水平使用)。
  • 大型マグネットスタンド LV-0030
  • 販売時参考価格:55,000 円〜
  • センサを設置するためのマグネットスタンドです。微動ステージ LV-0015/LV-0016 と組合わせて検出位置の微調整が可能です。
  • 細型反射ミラー LV-0105
  • 販売時参考価格:80,000 円〜
  • LV-0301 の先端より更に狭い 場所にレーザ光を誘導する 90 度反射ミラーです。LV-0301 の先端部のミラーと交換して使用します。(φ= 4 mm)
  • 対物レンズ LV-0151A
  • 販売時参考価格:350,000 円〜
  • レーザスポットを約 3μm まで絞る事ができます。(測定距離 : 約 40 mm)
  • ビデオ観察ユニット LV-0180
  • 販売時参考価格:250,000 円〜
  • センサ部に装着する事で微小部位のレーザスポットを TV モニターで確認できます。
  • 卓上型除振台 LV-0200
  • 販売時参考価格:250,000 円〜
  • 床から伝わって来る暗振動を低減して検出精度を向上させます。
  • 90度反射ミラー LV-0301
  • 販売時参考価格:200,000 円〜
  • レーザ光を 90 度曲げ 360°回転する事ができます。隙間などにレーザ光を照射できます。
  • 収納トランク LV-0310
  • 販売時参考価格:200,000 円〜
  • LV-2100A の本体と大型マグネットスタンドなどのオプションを収納可能なトランクです。
  • コーナーキューブφ4mm LV-0801
  • 販売時参考価格:180,000 円〜
  • 測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射させます(質量0.2g 以下)。
  • コーナーキューブφ7mm LV-0802
  • 販売時参考価格:150,000 円〜
  • 測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射させます(質量 2 g 以下)。
  • 変位解析ソフトウェア LV-0930
  • 販売時参考価格:350,000 円〜
  • 変位データの動特性解析が可能です。

レビュー

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その他の変位計

サービス紹介

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