計測器

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LV-2100A レーザ干渉変位計システム 小野測器
販売開始
販売状況
メーカー製造終了
販売開始時参考価格
2,500,000 円 (税抜き)
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商品説明

従来の振動変位の検出は、加速度(m/s2)あるいは速度(m/s)から変位への変換が中心でした。しかし MEMS(Micro Electro Mechanical System)や圧電素子応用のアクチュエータなどは、矩形駆動や DC オフセットで挙動するものが多く、従来の加速度センサやレーザドップラ振動計での積分処理による変位換算では正しい変位計測ができませんでした。
レーザ干渉変位計 LV-2100A は、無負荷・非接触で MEMS や圧電素子の微小・高速振動変位を 1 MHz サンプリング、0.155 nm の高変位分解能で、DC から直接検出可能です。レーザスポット径は最小 φ1.5 μm と高空間分解能。
ディジタル変位出力は振幅レンジ依存の分解能低下がありません(アナログ出力と比較して)。

オプションの変位解析ソフトウェア(LV-0930)をはじめ、FFT アナライザや『Oscope/Oscope Professional』時系列解析ツール等の豊富なハード・ソフト群がより効果的な計測・解析をサポートします。

商品スペック

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【変位分解能 0.155 nm
【サンプリング周波数】アナログ出力:1 MHz 固定
【ディジタル出力】USB Ver. 2.0 (Full Speed),コネクタタイプ:ミニBタイプ

オプション

  • XY軸微動ステージ LV-0015
  • 販売開始時参考価格:95,000 円 (税抜き)
  • センサの精密な位置合わせが可能な XY 軸微動ステージです。
    (ステージ面:60×60mm、移動量:±5mm)
  • Z軸微動ステージ LV-0016
  • 販売開始時参考価格:120,000 円 (税抜き)
  • センサの精密な上下位置合わせが可能なZ軸微動ステージです。
    (ステージ面:60×60mm、移動量:0~10mm)
  • 大型三脚 LV-0017A
  • 販売開始時参考価格:150,000 円 (税抜き)
  • 定盤が無い場所でのセンサヘッド設置に使用します。
  • スチールプレート LV-0018A
  • 販売開始時参考価格:10,000 円 (税抜き)
  • 三脚に装着する事でマグネットスタンドを三脚上で使用できます(水平使用)。
  • 大型マグネットスタンド LV-0030
  • 販売開始時参考価格:55,000 円 (税抜き)
  • センサを設置するためのマグネットスタンドです。微動ステージ LV-0015/LV-0016 と組合わせて検出位置の微調整が可能です。
  • 細型反射ミラー LV-0105
  • 販売開始時参考価格:80,000 円 (税抜き)
  • LV-0301 の先端より更に狭い 場所にレーザ光を誘導する 90 度反射ミラーです。LV-0301 の先端部のミラーと交換して使用します。(φ= 4 mm)
  • 対物レンズ LV-0151A
  • 販売開始時参考価格:350,000 円 (税抜き)
  • レーザスポットを約 3μm まで絞る事ができます。(測定距離 : 約 40 mm)
  • ビデオ観察ユニット LV-0180
  • 販売開始時参考価格:250,000 円 (税抜き)
  • センサ部に装着する事で微小部位のレーザスポットを TV モニターで確認できます。
  • 卓上型除振台 LV-0200
  • 販売開始時参考価格:250,000 円 (税抜き)
  • 床から伝わって来る暗振動を低減して検出精度を向上させます。
  • 90度反射ミラー LV-0301
  • 販売開始時参考価格:200,000 円 (税抜き)
  • レーザ光を 90 度曲げ 360°回転する事ができます。隙間などにレーザ光を照射できます。
  • 収納トランク LV-0310
  • 販売開始時参考価格:200,000 円 (税抜き)
  • LV-2100A の本体と大型マグネットスタンドなどのオプションを収納可能なトランクです。
  • コーナーキューブφ4mm LV-0801
  • 販売開始時参考価格:180,000 円 (税抜き)
  • 測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射させます(質量0.2g 以下)。
  • コーナーキューブφ7mm LV-0802
  • 販売開始時参考価格:150,000 円 (税抜き)
  • 測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射させます(質量 2 g 以下)。
  • 変位解析ソフトウェア LV-0930
  • 販売開始時参考価格:350,000 円 (税抜き)
  • 変位データの動特性解析が可能です。

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