計測器

レーザ干渉変位計システム

小野測器 LV-2100

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LV-2100 レーザ干渉変位計システム 小野測器
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商品説明

従来の振動変位の検出は、加速度(m/s2)或いは速度(m/s)から変位への変換が中心でした。しかし MEMS(Micro Electro Mechanical System)や圧電素子応用のアクチュエータなどは、矩形駆動や DC オフセットで挙動するものが多く、従来の加速度センサやレーザドップラ振動計での積分処理による変位換算では正しい変位計測ができませんでした。
レーザ干渉変位計 LV-2100 は、無負荷・非接触で MEMS や圧電素子の微小・高速振動変位を 1 MHz サンプリング、0.155 nm の高変位分解能で、DC から直接検出可能です。レーザスポット径は最小 φ1.5 μm と高空間分解能。最大 5 m までの変位ストロークが計測可能です。
ディジタル変位出力は振幅レンジ依存の分解能低下がありません(アナログ出力と比較して)。

オプションの変位解析ソフトウェア(LV-0930)をはじめ、FFT アナライザや『Oscope/Oscope Professional』時系列解析ツール等の豊富なハード・ソフト群がより効果的な計測・解析をサポートします。

商品スペック

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【サンプリング周波数】アナログ出力:1 MHz 固定,ディジタル出力:変位解析ソフトウェア(LV-0930)にて可変可能
【ディジタル出力】USB Ver. 2.0 (Full Speed),コネクタタイプ:ミニBタイプ

オプション

  • XY軸微動ステージ LV-0015
  • 販売時参考価格:95,000 円〜
  • Z軸微動ステージ LV-0016
  • 販売時参考価格:120,000 円〜
  • 大型三脚 LV-0017A
  • 販売時参考価格:150,000 円〜
  • スチールプレート LV-0018A
  • 販売時参考価格:10,000 円〜
  • 大型マグネットスタンド LV-0030
  • 販売時参考価格:55,000 円〜
  • 細型反射ミラー LV-0105
  • 販売時参考価格:80,000 円〜
  • 顕微鏡ユニット LV-0148
  • 販売時参考価格:3,500,000 円〜
  • 対物レンズ LV-0155
  • 販売時参考価格:230,000 円〜
  • ビデオ観察ユニット LV-0180
  • 販売時参考価格:250,000 円〜
  • 卓上型除振台 LV-0200
  • 販売時参考価格:250,000 円〜
  • 90度反射ミラー LV-0301
  • 販売時参考価格:200,000 円〜
  • 収納トランク LV-0310
  • 販売時参考価格:200,000 円〜
  • コーナーキューブφ4mm LV-0801
  • 販売時参考価格:180,000 円〜
  • コーナーキューブφ7mm LV-0802
  • 販売時参考価格:150,000 円〜
  • 変位解析ソフトウェア LV-0930
  • 販売時参考価格:ー

レビュー

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後継機種情報

その他の変位計

サービス紹介

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