計測器

三次元顕微鏡ユニット

小野測器 LV-0383

基本情報

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LV-0383 三次元顕微鏡ユニット 小野測器
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商品説明

LV-0383 は、レーザドップラ振動計用の3次元顕微鏡ユニットです。3台のレーザドップラ振動計と顕微鏡装置により、3軸方向に発生する微小物体の振動を非接触で検出できます。同軸落射照明と倍率の違う2台(※)のディジタルビデオカメラで素早く正確な位置決めと、静止画像記録が可能となります。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)や微小構造・小質量の対象や、接触式での検出が困難な超音波駆動の対象振動の三次元挙動の評価を可能にします。

※ レーザドップラ振動計LV-1800に LV-0181 位置決め用内蔵カメラ装着時

アプリケーション例
● MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の評価
● 圧電素子のせん断方向の挙動計測
● 超音波デバイスの計測
● 微小構造部の三次元振動検出

商品スペック

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【対応レーザドップラ振動計】LV-1800,LV-1710,LV-1720A,LV-1720
【検出光学系】検出器マウント M22 X 0.5 長さ 4 mm、測定距離 38.9 mm (対物レンズ10 x 固定)スポット径4.5 µm

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