デバイスの微細化が進むにつれ、LSIの電源電圧が低下傾向にあります。それに伴い、イミュニティも低下傾向にあり、 試験項目として重要視されています。
また殆どのLSIはI/O端子からのノイズを電源とGNDに集める構造となっているため、電源/GNDの急激な変動を起こす 可能性が高く、その影響をチェックしておくことが大切です。
従来、ESDガンでインパルスを印加する場合、正極性で印加してもLSIのピンに現れる電源電圧へのノイズは 振動波形となる場合があります。
特に、正方向と、負方向への誤動作のスレッショルドが異なる場合などは、正極性印加にもかかわらず、 負方向スレッショルドを越えたことによる誤動作が発生する可能性がありました。HIT-5000では、矩形波を入れることで 正方向、負方向のどちらでも個別評価できます。