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商品説明
高電圧C-V 測定システム : CS-605A(5kV) / CS-603A(3kV)SiC, GaN などのパワー半導体デバイスの容量測定に最適・5kV(CS-605A)あるいは3kV(CS-603A)までの容量測定を自動化(Sweep機能付き)
・様々なデバイスのパッケージに対応した、カーブトレーサ用アダプタがそのまま使用可能
・ウェハーやチップ上での容量測定のために、プローブステーションとのシステム化に対応
・高電圧用コンデンサなどの容量測定も可能
商品スペック
>>もっと見る【DC バイアス】0-3kV / 0-50V
【設定分解能】100mV / 1mV
【測定範囲】10kHz 100pF~10nF ±5%(±2pF)、100kHz 10pF~1nF ±5%(±2pF)、Cgd:Cds:Cgs=1:1:1,Cgd:Cds:Cgs=1:10:100の時
【周波数範囲】10kHz-100kHz
【LCRメータの測定信号レベルの範囲】100mV~1V
【測定パラメータ】Cies, Ciss(入力容量)、Coes, Coss(出力容量)、Cres , Crss(逆伝達容量)、CT(端子間容量)、Cgs,Cge/Cgd,Ccg/Cds,Cce(計算値)、Rg(ゲート抵抗)
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