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商品説明
インライン測定用0.05μm、超純水の粒子汚染を監視
センサ・コントローラ・流量計・データ保存を一体化したオールインワンタイプ
超純水ラインに直接インストール、プロセスを管理
パージエアユニット標準搭載
高圧に対応 500kPa(ゲージ圧)
D/Aコンバータ(4-20mA)、アラーム出力接点を標準装備
プリンタを内蔵、コンパクトフラッシュカード(オプション)も使用可能
商品スペック
>>もっと見る【最小可測粒径】0.05μm
【定格流量】試料流量/定格流量10mL/minとパージ流量0.1~1L/minの合計(ただしパージ流量は試料圧力により変動)
【最大粒子個数濃度】200,000個/mL(計数損失10 %以内)
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