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商品説明
クリーンルーム,クリーンベンチなどの無じん・無菌環境設備は,半導体工業、電子工業から光学,医薬品,食品等の広い分野において利用され,その環境を管理・監視するためにパーティクルカウンタが用いられてきました。ところが,最近特に半導体分野においては製品の集積度が飛躍的に増大し,従来の管理粒径である0.3あるいは0.5ミクロンでは大きすぎ,0.1ミクロン・クラスをもコントロールする必要にせまられてきました。パーティクルカウンタKC-14は,このような環境の管理等のために開発されたものです。
商品スペック
>>もっと見る【光学系方式】レーザ光源と楕同面鏡による集光方式(楕円商鋭の2つの焦点に粒子検出域と光検出器を置き.レーザ光の電界振動方向と2つの焦点を結んだ紬の方向を一致させる。) (特許出願中)有効集光立体角2.05πステラジアン,波長632.8nm,
【光学系方式:レーザタイプ】He-Ne方、ス・外部ミラ形,直線偏光TEMooモード
【光学系方式レザビーム幅】0.36mm(1/e2)
【流体系方式】試料空気を清浄空気(シースエア)により同軸状に包み込む
【流体系方式:試料空気流径】0.18mm
【流体系方式:試料空気流速】約200m/sec
【流体系方式:試料空気流量】300mt/分
【測定範囲】0.11,0.15,0.2,0.25,0.3および0.5μmの6レンジ
【回数濃度】200万個/t
【計数損失】200万個/tにおいて5%以下
【試料空気量】0.01 t -100 tおよび0.001lOCF範囲を有効2桁で任意設定
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