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TMS-2000 ウエハ厚分布測定器 santec
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商品説明

TMS-2000はウエハの厚み分布を非接触で計測し、平坦度を1 nmの精度で計測可能です。従来装置では温度変動や振動などの環境変化がある場合には精度が低下してしまうため、使用環境やアプリケーションが限られていましたが、本製品はそのような環境変化にも高い耐性を有し、且つ小型、高速、低価格を実現しております。インライン検査を含め、高スループットを活かした幅広いアプリケーションへの導入が可能です。

商品スペック

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【特徴】
・高精度
・様々な計測パラメータに対応
・高い耐環境性
・小型
・高速

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