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商品説明
・両面同時カラー検査・最大6インチのウェーハ処理能力(検査エリア8インチ)
・自動ウェーハアライメント
・独自の欠陥検査アルゴリズム
・多様な欠陥基準の定義
・欠陥検出率 > 99%
・ウェーハマッピング
-アップ/ダウンストリーム操作
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