SPECS-FA(半導体プロセス評価コアソフトウェア-工場オートメーション)は、業界標準のSPECSテストシェルをベースにしたパラメトリックテスター用の工場オートメーション・ソフトウェア・ソリューションです。柔軟なテスト制御、複数の処方箋管理が可能で、2つのポートを備え、CMSおよびSECS/GEMをサポートしています。
メーカーは、SPECS-FAを使用することにより、短時間での立ち上げ、継続的な改善、効率的な機器配備/プロセスモニターを実現できます。
■主な特長と仕様
特長
・ SPECSテストシェルに基づくKeysight 4080シリーズ用の工場オートメーションソリューション SPECS
・ 柔軟なテスト制御および複数のレシピ管理
・ SEMI規格E5(SECS II)、E30(GEM)、E87(CMS)、E39(OSS)、E40(PMS)、E90(STS)およびE94(CJM)をサポート
・ パラメトリック・テスト・システムおよびウエハープローバーの両方の状態をリアルタイムで報告
製品の利点
・ 工場オートメーション環境でのKeysight 4080シリーズおよびウエハープローバーを簡単に制御
・ SPECS上で作成されたアルゴリズムが変更なしでSPECS-FA上で動作
・ 適応テスト機能により、テストコストを低減可能