Keysight N9201A アレイストラクチャ・パラメトリック・テスト・オプションは、歩留まりの改善のために、さらに多くのテストをより高速に、少ない時間で行うことを可能にするパラメトリックテストのオプションです。このN9201Aを搭載することにより、Keysight 4070 シリーズ パラメトリック・テスタは、新たに従来の5倍となる最大40チャンネルのパー・チャネルSMU構造をサポートします。これは、インライン・アレイストラクチャの特性解析を非常に高速に実行することを可能にします。
さらに、パー・チャネルのSMU構造に追加して、N9201Aでは、先端的なアレイ・マトリクス試験で必要なアドレス信号を生成する機能を同時に提供し、エンジニアは、必要なアレイを制御しながら解析を実行することができます。
・最大40チャンネルのSMUを搭載可能。インライン・アレイテストストラクチャに対して高速な特性解析を可能に
・インラインやバックエンド(Back-end of line)の量産の早い段階における歩留まり改善のための高速なスループットを実現
・抵抗アレイや、アクティブマトリックスアレイ等、大量なTEGテストを実行可能に
・パーチャネルSMU構造を採用
・先端的なアレイマトリクス試験用のアドレス信号生成機能をサポート
・SMUは最小8チャンネルから最大40チャンネルまで構成可能
■主な特長と仕様
◎特長
・4070シリーズ・パラメトリック・テスタ用オプション
・マルチチャネルSMU測定能力
・4070シリーズのワン・パス・プラットフォーム
・同時TEGテスト/測定
◎測定能力
・最高40のSMUチャネル
・5 pAおよび100 μVの測定分解能
・アドレス信号生成
・同時測定用のSMUプログラム・メモリ
◎BEOL(Back-end of line)の歩留まり向上のための
・BEOL TEGテスト(抵抗、Vthなど)に最適
・高/低分解能TEGパートの同時測定リソース
・4070のBEOL TEGテストのスループットを劇的に改善
◎アドレス指定可能なアレイ・テスト構造のテスト能力
・パラメトリック・テスタのアドレス生成機能
・DFM用のSPC(統計的プロセス制御)
・32ビットまでのパラレル・アドレス信号生成
・最邑8 V/125 mA/50 kb/sのアドレス信号生成