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商品説明

空気の圧力、温度、湿度を測定します。5530ダイナミック・キャリブレータと組み合わせることにより、動作環境の変化を検出して自動的に補正します。これにより、システム全体の確度が向上します。空気センサと材料センサでは、さまざまな長さの交換可能なセンサ・ケーブルを使用できます。ケーブルには5 m、10 m、15 m、25 mの長さがあり、必要に応じて簡単に交換できるように、着脱が簡単なはめ込み式のコネクタを装備しています。
・ 空気中の光波長(WOL)に影響する環境の変化を自動的に補正
・ システムの確度と再現性が向上
・ レーザー干渉計位置決めシステムのアプリケーションを拡大
・ 3年間の保証に裏付けられた高い信頼性

商品スペック

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センサ確度

空気温度:±0.1 ℃
空気湿度:±5% RH
空気圧:±80 pa

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