計測器

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E1709A 高性能リモート・レシーバ キーサイト・テクノロジー
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商品説明

サブナノメータの測定分解能が要求される厳しいアプリケーションに適しています。E1708Aの11倍の感度があり、アプリケーションの軸数を2倍以上に増やすことができます。
また、このレシーバはE1708Aの2倍以上の帯域幅を持っているので、線形光学系で2m/s(平面鏡の光学系で1m/s)の速度で変位を正確に測定できます。
ステージ速度が変化すると測定信号の周波数が変化します。E1709Aは、こうした周波数変化による位相処理誤差を最小限にします。このレシーバは、ステージ移動時のピッチやロール、ヨーといった小さな揺れに起因する測定信号のパワー変化による誤差に対するイミュニティもあります。こうした優れた機能を使用して、移動システムで正確な測定を行うことができます。

商品スペック

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・他のKeysightレシーバよりも多いレーザ・ヘッドあたりの軸数
・高いステージ速度でも2m/sのスルーレート
・全周波数レンジおよび最高25:1の振幅レンジで誤差を±1LSBに低減
・軸数が増えた場合にも0.2μWの高感度
・高いステージ速度でも2m/sのスルーレート
・全周波数レンジおよび最高25:1の振幅レンジで誤差を±1LSBに低減

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サービス紹介

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