YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。
Keysight 55280Aリニア測定キットは、5529Aレーザー校正システムで、直線距離 (変位) と速度の測定に使用する光学部品を含むキットです。
キットには、10766Aリニア・干渉計1台、10767A反射鏡2台、取り付け用ハードウェアおよび10786A輸送用トランクが含まれています。
このシステムでは、干渉計と反射鏡の間の距離の相対変化を測定します。
測定前に、任意のポイントを測定の開始ポイントとして定義できます。

5529Aは、NC工作機械や座標測定装置の位置決め確度の校正に使用できます。確度と分解能が非常に優れているため、長さ標準の校正のための事実上の標準として使用することができます。


・直線距離の正確さ: 距離測定の確度は、光速度の補正方法と環境温度に依存しますが、下記の許容差 (誤差範囲) 内に収まります。下記の値は、熱膨張係数が判っている既知の材料温度での値です。物体温度センサが使用されてる場合、システム誤差はTe (ppm) = (線膨張係数[ppm/℃]) X (センサの平均誤差[℃])分だけ増加します。

【 環境温度 】【 真空環境 】 【 10751A/B 使用時 】
[20 (+/-0.5)℃] [+/-0.1 ppm*] [ +/-1.5 ppm]
[ 15-25℃] [+/-0.1 ppm*] [+/-1.7 ppm]
[0-40℃] [ +/-0.1 ppm*] [ +/-3.0 ppm]

*注:
・すべてのシステム・コンポーネントの温度が、上に示す温度範囲内の任意の温度で安定している場合。
・Keysight 10751A/Bが適切な方向に取りつけられている場合。湿度スイッチは最も現実に近い条件に設定されています。12か月に1度の校正を仮定しています。
・Keysightのレーザーヘッドを出荷時に校正した場合は+/-0.02 ppmとなります。

・高い測定確度
・多くの長さ標準・規格をサポート
・1つの光学的なセットアップにより、変位と速度の両方を測定可能
・付属の取り付け用アクセサリにより、リニア他光学部品の固定が簡単