5517GL レーザ・ヘッドキーサイト・テクノロジー | 計測器

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形名：5517GL

キーサイト・テクノロジー物理量測定器 5517GL

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販売開始: －

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商品説明

Keysight 5517GLは、主に、半導体リソグラフィー/フラット・パネル・アプリケーションなどの動きが高速なVME/PCベースのレーザー干渉計システムで使用します。

商品スペック

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一般仕様【リニア光学系での最大速度】 2.1 m/s
【基準周波数】≧7.2 MHz
【質量】 3.2 kg
【ウォームアップ時間】 45分(ファンと排気管が排気カバーに接続されている場合)
レーザービーム
【直径】 option009、9 mm(5517GLはオプション009と一緒に注文してください)
【最小出力光量】 168 μW(3年後、120 μW)
【最大出力光量】 1 mW
【ビーム高さ】 80.8±1.0 mm
電源要件
・+15 V±0.3 V(最大2.2 A)
・-15 V±0.3 V(最大0.03 A)