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商品説明

Keysight 5517ELは、主に、半導体リソグラフィー/フラットパネルアプリケーションのように動きが高速なVME/PCベースのレーザー干渉計システムで使用します。

商品スペック

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一般仕様【リニア光学系での最大速度】 1.55 m/s
【基準周波数】 ≧5.8 MHz
【質量】 3.2 kg
【ウォームアップ時間】 45分(ファンと排気管が排気カバーに接続されている場合)
レーザービーム
【直径】 6 mm
【最小出力光量】 65 μW(3年後、50 μW)
【最大出力光量】 220 μW
【ビーム高さ】 80.8±1.0 mm
電源要件
・+15 V±0.3 V(最大2.2 A)
・-15 V±0.3 V(最大0.03 A)

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