5517DL レーザ・ヘッドキーサイト・テクノロジー | 計測器

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形名：5517DL

キーサイト・テクノロジー物理量測定器 5517DL

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商品説明

Keysight 5517DLは、主に、半導体リソグラフィー/フラットパネルアプリケーションのように動きが高速なVME/PCベースのレーザー干渉計システムで使用します。

商品スペック

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一般仕様【リニア光学系での最大速度】 1.2 m/s
【基準周波数】 ≧4.4 MHz(オプション300: 5 MHzを選択可能)
【質量】 3.2 kg
【ウォームアップ時間】 45分(ファンと排気管が排気カバーに接続されている場合)
レーザービーム
【直径】 6 mm(オプション009: 9 mmを選択可能)
【最小出力光量】 180 μW(3年後、120 μW)(オプション300: 80 μW(3年後、50 μW)を選択可能)
【最大出力光量】 1 mW(オプション300: 220 μWを選択可能)
【ビーム高さ】 80.8±1.0 mm
電源要件
・+15 V±0.3 V(最大3.0 A)
・-15 V±0.3 V(最大0.3 A)