Keysight 4072Bウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタを使用することにより、半導体メーカは半導体ウェーハの量産製造プロセスにおけるキャパシタンス測定、DC測定のテスト時間を大幅に削減できます。4073A、4072Aよりも最大40%スループットを向上させることができます。
4072Bは柔軟なテスト・ソリューションで、高精度DC測定、キャパシタンス測定、フラッシュ・メモリ・セルのテスト、その他の高周波アプリケーションのテストが行えます。
パラメトリック・テスト用のトータル・ソリューション
効率的かつ総合的なパラメトリック・テスト・ソリューションには優れたハードウェアとともに優れたソフトウェアが必要です。
この要件を満足させるために、4072Bでは様々なパラメトリック・テスト・ソフトウェア・ソリューションと互換性のある汎用システム・ソフトウェア環境を搭載し、KeysightのSPECS(半導体プロセス評価コア・ソフトウェア)テスト・シェル、SPECS-FA、VPA/PME、PDQ-WLRなどを使用できます。
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特長
・ 最大8個のソース・モニタ・ユニット(SMU)をサポート
・ ハイ・パワーSMU(HPSMU)を最大2個含む、最大8個のソース・モニタ・ユニット(SMU)をサポート
・ 内蔵の高速キャパシタンス測定ユニット(CMU)による、高速キャパシタンス測定
・ 最大2MHzのマルチ周波数キャパシタンス測定
・ 高速DC測定
・ 最大8個の補助入力ポートまたは48個の拡張パス入力経由で外部測定器をシステムに統合可能
・ 12～48個の出力ピンにカスタマイズ可能な、フル・ガード付きケルビン出力ピンに対して全入力を接続できる低リーク・スイッチング・マトリックス
・ パルス・ジェネレータ制御機能内蔵の高周波スイッチング・マトリックス
サポート
4070シリーズの標準サポート期間は2018年11月30日までとなっております。
その後については延長サポート期間を2021年11月30日まで3年間、一定の条件と制限の下でご提供する予定です。

延長サポート契約を結ばれたお客様向けに、主要部品をあらかじめ調達し、在庫を確保することで、標準サポート期間終了後も修理サービスをできるだけ長く維持させます。
部品は過去数年間の消費実績をもとに在庫しますが、製造期間中のようにすべての故障・部品を保証できるわけではありません。
万が一、該当部品の調達がかなわず修理復旧が不能となった場合には、その時点で契約を継続するかどうかご判断いただき、以後の期間については解約手続きをとることができます。
延長サポート契約提供期間:2018年12月1日～2021年11月30日(1年ごとの更新/複数年契約ともに可能です)
*延長サポート契約に加入されていない機器については、使用できる部品が汎用部品に限られるため、修理可能な範囲も限定的となります。
*校正は引き続き提供いたします。
*機器のアップグレード、延長サポート契約のご加入については、以下窓口までお問い合わせください。
計測お客様窓口
■主な特長と仕様
特長
・ HPSMU2個まで、合計8個までのSMUをサポート
・ 低リーケージ・スイッチング・マトリクス、完全にガードされた12～48のケルビン出力にカスタマイズ可能
・ パルス・ジェネレータ制御機能つき高周波スイッチング・マトリクス
・ 外部機器サポートのための補助入力8ヶおよび拡張経路入力48ヶ
測定能力
・ 2 μVおよび10 fAの測定分解能(MPSMUおよびHPSMU)
・ ± 200 Vおよび± 1 Aの出力能力(HPSMU)
・ 1 kHz～2 MHzのキャパシタンス測定周波数レンジ(HSCMU)
・ ± 1.6 Aのグランド・ユニット(GNDU)