10898A デュアル・レーザ・アクシス・ボードキーサイト・テクノロジー | 計測器

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デュアル・レーザ・アクシス・ボード

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形名：10898A

キーサイト・テクノロジーアクセサリ 10898A

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商品説明

概要 Keysight 10898Aデュアル・レーザ・アクシス・ボードは、Keysight 10897B高分解能レーザ・アクシス・ボードと同じ分解能をより高いスルーレートとより低いノイズで提供します。従来のレーザ・システムと比べて高速移動と低ノイズにより、精度と再現性がさらに高まり、IC製造装置等の高度なアプリケーションに適用できます。Keysight 10898Aは、Keysight 10897Bと同様、高分解能平面鏡干渉計でλ/2048(0.3nm)の測定分解能を提供します。
10898Aの詳細については、製品概要の10ページをご覧ください。
・1個のボード上に2個の高性能レーザ
・分解能最高0.31nm
・平面鏡スルーレート2.7m/s
・5MHzデュアル・チャネル・データ伝送

商品スペック

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主な特長と仕様
一般
【プラットフォーム/サイズ】 VME、6U
【ボードあたりの軸数】 2
【分解能拡張】 ×256
【外部サンプル/データ・ホールド入力】 4 + 1
平面鏡光学系による動作
【分解能】 0.62 nm
【最高速度(レーザ・ヘッドによっても制限あり)】 2700 mm/s
タイミング
【位置データ更新レート】 10 MHz
【非同期サンプルまたはホールド不確実さ】 ±50 ns
【同期サンプルまたはホールドの不確実さ】 < 800 ps + < 40 ps/℃
特長
柔軟なハードウェアI/O
多軸システムの基準および測定信号の容易でプログラム可能なルーティング
36ビット、2の補数によるハードウェア位置データ出力、10 MHz アップデート速度
性能が高められた2個の10897Cを1枚の6Uボード上に搭載