Keysight 10897C VMEbus レーザ・アクシス・ボードは、市販のポジションニング・システムでは最高の測定分解能を有します。最高分解能 0.3 nm により、IC 製造装置のような先進の製品において、超精密の位置情報および距離情報を提供します。10897C は、0.7 m/s 平面鏡スルー・レートに等価な周波数で試験されています。10897C は、レジスタ毎にプログラム可能なポジション・アクシス・ボードです。位置情報は、波長の分数で表した 36-ビットのポジション・ワードで提供されます。そのワードは、VMEbus 上で読むことができ、また、P 2 コネクタの A および C 列上のハードウェア出力からリアルタイムで得ることもできます。ひじょうに高いデータ速度を有し、広帯域高性能の閉ループ・アプリケーションに適します。レーザおよび光コンポーネントを適切に組合せることにより、10897C はダイナミック測定において卓越した確度を発揮します。
VMEbus 位置出力
・ データ・フォーマット
単位: 波長の分数
2 の補数: 35-ビットの中から 32-ビットを選んで読む
正論理
・ バック・プレーンのデータ速度: >100 kHz
・ サンプル・データ・エイジ
固定: 同期サンプル動作の後、位置レジスタの中の値はサンプル動作が開始される前の約 X-ns に発生した実際の位置を反映します。 X-ns は、290 ns と 790 ns のいずれかをユーザが選択できます。
・ サンプル遅延: 位置レジスタは、サンプル遅延レジスタ・ビットを経て、ハードウェアのサンプル動作の後 100 ns または 600 ns に読み取られます。
P 2 コネクタのハードウェア位置出力
・ データ・エイジ
固定: ハードウェア出力ライン上のデータは、10 MHz クロックの次の立上がりエッジの前の約 1.2 μs に発生した位置を反映します。