・ 真直度測定確度
・ 全体の確度 = 光基準確度 + 測定確度
・ これは、直定規と表示器を使用して真直度を測る従来の方法に相当します。光基準確度は直定規の確度、測定確度は表示器の確度に相当します。
・ 光基準確度
・ 光基準の不確かさは、直定規(ミラー)反転法によって除去可能
メートル単位モード】 ±0.015 M2μm
・ ここで】
【 M = 移動するオプティクスの行程距離
・ 測定確度
【 温度範囲の表示値】
・ 0μm～100μm 100～1,500μm
・ 0μm～4000μm 4000～60,000μm
・ 15℃～25℃ ±5% ±2.5% ±02.55μm
・ 0℃～40℃ ±7.5% ±2.5% ±5μμm
・ 真直度測定分解能
・ Keysight 5519A、Keysight 5519B、Keysight 5518A
・ 0.1μm 36μm
・ 真直度測定範囲(軸上の移動に対する直角)
・ ±1.5mm
・ 軸間隔(移動)
・ (干渉計からリフレクタまでの距離、代表値、適切な調整、15℃～25℃)】
・ 1m～30m
・ 空気の乱れによる影響を受けにくく高確度
・ 55283A真直度測定キットの測定距離を延ばすために使用可能
・ 高分解能プレーンミラー
・ 5529Aキャリブレータ・システムなど各種Keysightシステムで使用可能