計測器

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10775A ロングレンジ真直度光学部品 キーサイト・テクノロジー
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商品説明

YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。Keysight 10775Aは真直度干渉計とリフレクタを組み合わせたもので、1m~30mまでのレンジを測定できます。この光学部品は高精度の光直定規として働き、工作機械や測定機械の座標運動の真直度を、0.1μmの分解能で測定できます。
Keysightは、干渉計を物理的なレイアウトや測定条件に合わせることができる、さまざまな測定用光学部品を提供しています。10775Aはそのうちの1つで、5529Aで使用します。

商品スペック

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・ 真直度測定確度
・ 全体の確度 = 光基準確度 + 測定確度
・ これは、直定規と表示器を使用して真直度を測る従来の方法に相当します。光基準確度は直定規の確度、測定確度は表示器の確度に相当します。
・ 光基準確度
・ 光基準の不確かさは、直定規(ミラー)反転法によって除去可能
メートル単位モード】 ±0.015 M2μm
・ ここで】
【 M = 移動するオプティクスの行程距離
・ 測定確度
【 温度範囲の表示値】
・ 0μm~100μm 100~1,500μm
・ 0μm~4000μm 4000~60,000μm
・ 15℃~25℃ ±5% ±2.5% ±02.55μm
・ 0℃~40℃ ±7.5% ±2.5% ±5μμm
・ 真直度測定分解能
・ Keysight 5519A、Keysight 5519B、Keysight 5518A
・ 0.1μm 36μm
・ 真直度測定範囲(軸上の移動に対する直角)
・ ±1.5mm
・ 軸間隔(移動)
・ (干渉計からリフレクタまでの距離、代表値、適切な調整、15℃~25℃)】
・ 1m~30m
・ 空気の乱れによる影響を受けにくく高確度
・ 55283A真直度測定キットの測定距離を延ばすために使用可能
・ 高分解能プレーンミラー
・ 5529Aキャリブレータ・システムなど各種Keysightシステムで使用可能

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サービス紹介

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