・ 真直度測定確度
・ 全体の確度 = 光基準確度 + 測定確度
・ これは、直定規と表示器を使用して真直度を測る従来の方法に相当します。光基準確度は直定規の確度に、また測定確度は表示器の確度に相当します。
・ 光基準確度
・ 光基準の不確かさは、直定規(ミラー)反転法によって除去可能
【メートル単位モード】 0.15 M2μm
・ 測定確度
【 温度範囲表示値】 0μm～10μm 10～1,500μm
・ 0μm～400μm 400～60,000μm
・ 15℃～25℃ ±3.5% ±1% ±0.25μm
・ 0℃～40℃ ±6% ±1% ±0.5μm
・ 真直度測定分解能
・ 5519A、5519B、5518A
【 ショートレンジ】 0.01μm 0.04μm
・ 真直度測定範囲(軸上の移動に対する直角)
±1.5mm
・ 軸間隔(行程)
・ (干渉計からリフレクタまでの距離、代表値、適切な調整、15℃～25℃)
【 ショートレンジ光測定】 0.1m～3m
・ 高分解能プレーンミラー
・ アラインメント・レーザーより空気の乱れに影響されません
・ 55283A真直度測定キットの一部として、または単体でオーダ可能