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10770A 角度測定用干渉計 キーサイト・テクノロジー
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商品説明

Keysight 10770A角度測定用干渉計は、高精度の校正を必要とするアプリケーションに最適な高確度平面鏡干渉計です。この干渉計は、10771A角度測定用反射鏡と5529Aダイナミック・キャリブレータ・システムで使用し、工作機械や計測器が走行する各軸方向のピッチやヨーを測定できます。このシステムを使用すると、望ましくない角運動を速やかに検出して評価できます。10771A角度測定用反射鏡と組み合わせて使用すると、10770Aは最大±36,000秒角(±10度)のレンジ、分解能0.1秒角、最大透過ビーム偏移±30秒角を持ちます。アライメント・ターゲットが含まれているので容易にセットアップできます。5529Aシステムに内蔵の10770Aは、パワフルな診断ツールで、古い工作機械を更新したり、改造したりするための重要な情報である角位置誤差の原因究明に威力を発揮します。

商品スペック

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【概要】干渉計、角度、1軸、6mmビーム
【測定】Y軸まわりの回転(ピッチ)またはZ軸まわりの回転(ヨー)
【軸数】1
【ビーム【サイズ】6mm
【有用性】高確度
【アプリケーション】1軸
【安定度】中
【測定分解能】0.1秒角
【レンジ】最大±36,000秒角(Keysight 10771A角度測定用反射鏡使用時には±10度)
【最大透過ビーム偏移】±30秒角
【光学系の分解能】λ/4(158.2nm、6.2uin)
【システム分解能(32x)】λ/64(10nm、0.4uin)(Keysight 5527Bレーザ測位システム、10885A PC軸ボードまたは10895A VMEbus用レーザ・アクシス・ボード使用時)
【システム分解能(256x)】λ/512(1.2nm、0.047uin)(Keysight 10897B、10897Cおよび10898A VMEbus用軸ボード使用時)
【ビーム分離】11mm
【質量】553g
【ハウジング】ステンレス鋼(416)
【開口部】プラスチック(ナイロン)
【光学系】光学ガラス
【接着剤】低揮発性(真空用)
【タイプ】非平面鏡
【推奨反射鏡】10771A
【使用するマウント】10785A
【ビーム曲げ】不可
【干渉計の移動の可否】
【付属品】セットアップを簡単にするアライメント・ターゲット
【関連製品】10771A、10785A、55281A

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