YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。
Keysight 10735Aは、ステージの直線制御と角度制御が必要な多軸アプリケーション用の干渉計です。複数のビーム・ベンダ、ビーム・スプリッタ、3個の干渉計を備えた光学台の機能を1つのパッケージに統合しています。干渉計は、入射レーザ・ビームを3本のビームに分割することにより、直線距離、ピッチ/ヨー角、または直線距離、ロール/ヨー角を測定します。これら3つのリニア測定値を基に、2つの角度測定値を求めることができます。
・ セットアップ時間の短縮とシステム性能の向上を実現する高性能パッケージ
・ 多軸インストールが容易
・ 高い確度分解能による優れた制御
・ 広い角度範囲
・ 機械的安定度を高めたモノリシック光学系
・ 調整済みの光ファイバ・リモート・レシーバ取り付け部
・ 基準光学系
・ 高性能パッケージ 各機能が統合されているため、費用と時間のかかる軸間のセットアップと調整は不要です。Keysightのカスタム工場フィクスチャと測定機器により、ビームの平行度が仕様範囲内に調整され、ロックされます。このため、個別部品の組み合わせでは得られない安定度と確度を実現しています。 簡単なインストール すべての軸が干渉計の取り付け面を基準としているため、ユーザが用意した基準面に対して簡単にインストールを行えます。単に干渉計を目的の位置にはめ込み、ボルトで止めるだけです。 高い角度分解能 多軸ステージに対する制御機能が向上したため、リソグラフィ・アプリケーションで優れたグリッド確度が得られます。 広い角度範囲 9mmレーザ・ビームによる広い角度測定範囲により、グローバルなステージ補正とサイトごとのステージ補正の両方を干渉計による制御の下で実行できます。スループットを維持しながら高い位置決め確度を実現できます。 モノリシック光学系 モノリシック光学系による強固な軸間結合により、振動に起因する誤差を最小限に抑えます。