YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。
Keysight 10721Aは、多軸アプリケーション用の製品で、リニアおよび角度(ヨー)変位の2つの差測定を同時に行います。両測定とも、カラムや検査ツールにマウントされた1つの外部ミラーを基準にします。
・ 熱膨張などの干渉計自身の変位に影響されない高確度
・ X線システムに最適なカラム基準測定
・ モジュール式のコンパクトなデザイン
・ 機械的安定度を高めるモノリシック光学系
・ 小径3mmビームによってAbeeオフセット誤差を抑制
・ 保証済みの軸間平行度
・ ダイナミック・インストール
・ 高い確度 本製品は干渉計と物体間ではなく、2物体間の直線距離を測定します。 基準経路と測定経路に共通した誤差は、経路への影響が等しいために除去されます。 この手法により、リソグラフィ・システムなどのオーバレイ確度が向上します。 カラム基準測定 X線写真(波長は光の波長よりも短い)では、微細な線幅のリソグラフィを使用するため、 ヨーのわずかなミスアラインメントがシステム性能に大きく影響することがあります。 本製品では、マスク・ホルダに対するマルチアクシス・ステージの移動を基準とする ことにより、要求確度を実現します。 モジュール式のコンパクトなデザイン 本製品は、1-6軸のカスタム測定システムに容易に統合できるコンパクトな設計です。 モノリシック光学系 モノリシック光学系による硬い軸間結合により、振動による誤差を 最小限に抑えられます。