計測器

ブローシャを見て500ポイントゲット
LTM-2201052 大型クリーンオーブン エスペック
販売開始
販売状況
販売中
販売開始時参考価格
サポート状況
サポート中
閲覧にあたっての注意事項
  • 販売開始時参考価格は発売当時の価格であり、現在の価格とは異なります。
    詳細はメーカへお問合せください。また、オプション構成によっても異なります。
  • 販売・サポートは登録時のものであり、現在の状況と異なる場合がございます。
    実際の状況はメーカーにお問合せください。
  • レンタル品は在庫が無く、ご希望に添えない場合がございます。予めご了承願います。
  • 中古品は既に在庫が無く、ご希望に添えない場合がございます。予めご了承願います。
  • 画像は同一シリーズのものを掲載している場合があります。

商品説明

試料の大量処理・大型化に対応した大容量のクリーンオーブン

電子部品の微細化にともない、熱処理にクリーンな環境を求められるケースが多くなっています。たとえば、従来では問題とならなかった塵埃が、小型化が進む電子部品では信頼性に大きく影響し、また半導体生産工程では、生産工程で使用する治具においてさえ、清浄度が求められるようになってきています。
この要求に応えるのが、この「大型クリーンオーブン1500」です。一度に大量の試料の熱処理が可能で、増加する“クリーンな環境での熱処理”という要求に対応します。
また、クリーンオーブンの大型化は、半導体の製造コストを下げる必要性からも求められています。仮に、ウェハーサイズを200mmから300mmにすると、その表面積は2.25倍になり、約2倍のチップが切り出せます。また、焼くのに要する時間はサイズに関係なく同じであるため、生産量も2倍になります。当然、このプロセスにはオーブンの大型化が不可欠です。

・大量の試料・大型化する試料に対応
試料の大量処理、大型化するウェハーの治具・石英管等の乾燥・熱処理に対応するため、内法を拡大しました。しかも、当器は縦型タイプで、設置場所が小さくてすみます。

・清浄度クラス5
(FED-STD-209Dクラス100相当) /均一な熱処理
HEPA フィルタを採用して、器内清浄度クラス5(FED-STD-209Dクラス100相当)を実現しています。また、前面吹出型水平層流循環換気方式により、高温風を器内均一に循環、製品の歩留まり向上に貢献します。

・クリーンルームでの運転が可能(オプション)
試験室内部の熱風を熱排気接続口より、またオーブン機械部で発生した塵埃を一般排気接続口より、排気ダクトを接続して排出することで、塵埃の飛散を防止します。(排気ダクトはお客さまでご用意ください)

商品スペック

>>もっと見る

【最大電圧】AC200V 3φ3W 50/60Hz
【最大消費電力】9.0kVA
【性能 温度範囲】(周囲温度+60)~+200℃
【性能 温度変動幅】±2.0度
【性能 温度分布】±3.0℃ at +100℃
【性能 温度上昇時間】周囲温度から+100℃まで 60分以内
【寸法 内法】W1000mm×H1500mm×D1000mm
【寸法 外法】W1200mm×H2250mm×D1460mm(突起物は含まない)
【容量】1500L
【重量】600kg

関連資料ダウンロード

カタログ倉庫で関連資料の検索をお願いします。
該当するカタログが無い場合もありますので、ご了承ください。

レビュー

この商品には現在レビューがありません。
レビュー投稿へのご協力をよろしくお願いいたします。

その他の環境試験器

サービス紹介

・動画で学べる「計測入門講座 Isee!」を掲載開始! 視聴は こちら

・計測・測定に関する用語全般を収録した TechEyesOnline の用語集をリリースしました「計測関連用語集

・メルマガ購読でTechEyesOnline掲載記事のPDFダウンロードサービスが受けられます。記事一覧は こちら

関連記事