計測器

大型クリーンオーブン

エスペック LTM-2201052

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LTM-2201052 大型クリーンオーブン エスペック
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商品説明

試料の大量処理・大型化に対応した大容量のクリーンオーブン

電子部品の微細化にともない、熱処理にクリーンな環境を求められるケースが多くなっています。たとえば、従来では問題とならなかった塵埃が、小型化が進む電子部品では信頼性に大きく影響し、また半導体生産工程では、生産工程で使用する治具においてさえ、清浄度が求められるようになってきています。
この要求に応えるのが、この「大型クリーンオーブン1500」です。一度に大量の試料の熱処理が可能で、増加する“クリーンな環境での熱処理”という要求に対応します。
また、クリーンオーブンの大型化は、半導体の製造コストを下げる必要性からも求められています。仮に、ウェハーサイズを200mmから300mmにすると、その表面積は2.25倍になり、約2倍のチップが切り出せます。また、焼くのに要する時間はサイズに関係なく同じであるため、生産量も2倍になります。当然、このプロセスにはオーブンの大型化が不可欠です。

・大量の試料・大型化する試料に対応
試料の大量処理、大型化するウェハーの治具・石英管等の乾燥・熱処理に対応するため、内法を拡大しました。しかも、当器は縦型タイプで、設置場所が小さくてすみます。

・清浄度クラス5
(FED-STD-209Dクラス100相当) /均一な熱処理
HEPA フィルタを採用して、器内清浄度クラス5(FED-STD-209Dクラス100相当)を実現しています。また、前面吹出型水平層流循環換気方式により、高温風を器内均一に循環、製品の歩留まり向上に貢献します。

・クリーンルームでの運転が可能(オプション)
試験室内部の熱風を熱排気接続口より、またオーブン機械部で発生した塵埃を一般排気接続口より、排気ダクトを接続して排出することで、塵埃の飛散を防止します。(排気ダクトはお客さまでご用意ください)

商品スペック

【最大電圧】AC200V 3φ3W 50/60Hz
【最大消費電力】9.0kVA
【性能 温度範囲】(周囲温度+60)~+200℃
【性能 温度変動幅】±2.0度
【性能 温度分布】±3.0℃ at +100℃
【性能 温度上昇時間】周囲温度から+100℃まで 60分以内
【寸法 内法】W1000mm×H1500mm×D1000mm
【寸法 外法】W1200mm×H2250mm×D1460mm(突起物は含まない)
【容量】1500L
【重量】600kg

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