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IPHH-202MS 低酸素オーブン エスペック
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商品説明

近年、配線材は、抵抗値の低さからAL(アルミ)から Cu(銅)に変わりつつあります。それにともない、通常のオーブンで熱処理を行うとCu部分が酸化することなどから不具合が起こっています。
また、フラッシュメモリの書き込み内容が、エレクトロマイグレーションにより消去されないかどうかを検査する目的で、250℃のエージングを行いますが、この際、バンプ部が酸化してしまうため、酸素濃度を100ppm以下に下げる必要があります。
この要求に応えるべく開発されたのが、「低酸素オーブン」です。酸素濃度100ppm以下で350℃のエージング試験を行えます。

・N2ガスの使用量を大幅に削減
器内の高密閉設計とN2流量切替機構でN2ガスの使用量を大幅に削減しました。

・温度降下時間の短縮で処理時間を短縮
器内冷却機構の新工夫により、温度降下時間を従来の3分の1以下に短縮しました。(240分→80分以内:参考値)これにより、試料を早く取り出すことができるようになり、処理時間を短縮することができます。

商品スペック

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【電源】AC200V 1φ 50/60Hz
【最大電圧】3.8VA
【方式】強制熱風循環
【性能 温度範囲】周囲温度+50~+350℃
【性能 温度変動幅】±0.1℃ at 100℃/±0.2℃ at 200℃、±0.2℃ at 350℃
【性能 温度分布】±0.5℃ at 100℃/±1.5℃ at 200℃、±3.0℃ at 350℃
【性能 温度上昇時間】室温~+350℃まで80分以内
【N2ガス 流体】N2ガス(常温・乾燥ガス)
【N2ガス 最低酸素濃度】100ppm以下(60~100NL/minにおいて)
【N2ガス ガス導入】口金リングジョイント3/8″型 継手
【内容量】216ℓ
【寸法 内法】W600×H600×D600mm(突起物含まず)
【寸法 外寸】W1190×H1700×D825mm(突起物含まず)
【寸法 重量】250kg
【計装 運転モード】定値運転、プログラム運転
【計装 設定指示範囲】温度:0~+360℃、時間:0~99時間59分、100~999時間(100時間以上は1時間単位)
【計装 設定指示分解能】温度:1℃ 時間:1分
【計装、指示精度】温度:±(2℃+1digit)以内、時間:読み取り値の±300ppm

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