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商品説明
パッケージレベルからウェーハレベルまで対応ウェーハの大口径化、微細化、高集積化に伴い、単体トランジスタの信頼性評価の重要性が高まっています。
このシステムは、高精度な電圧・電流印加とFET単体トランジスタの電気的特性および継続的変化を測定し、1台のPCでデータ収集、モニタリングなどの一元管理が可能です。
商品スペック
>>もっと見る【測定プログラム】FET単体トランジスタ測定ライブラリ 48種
【温度コントロール】恒温器(エスペック製小型環境試験器SU-661) 温度制御範囲-60 ~+150℃
【SMU性能】電圧±50V/電流±100mA
【DUTとのコネクション】DUTボードボード(ソケット6個) ・DIP600mil 28pin ・DIP300mil 16pin 選択
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