AEM-240C3SAAA エレクトロマイグレーション評価システムエスペック | 計測器

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エレクトロマイグレーション評価システム

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形名：AEM-240C3SAAA

AEMシリーズ

エスペック環境試験器 AEM-240C3SAAA

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販売開始: －

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商品説明

350℃におけるエレクトロマイグレーション評価半導体デバイスの寿命は、進歩する微細化に伴い、
より過酷な条件下でのエレクトロマイグレーション評価が重要になっています。
寿命加速要因となる温度と電流ストレスによる高精度な測定に、
デバイス寿命を導くために必要なパラメーターを求める解析ソフトを搭載。
「エレクトロマイグレーション評価システム AEMシリーズ」は、先端評価から生産管理まで
幅広くご使用いただけるよう、操作性・信頼性・データ解析の容易さを高め、
評価ニーズに的確にお応えするシステムです。

商品スペック

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【ストレス電流源:出力範囲】+DC0.1mA～200mA
【ストレス電流源:追従電圧】35V
【Extrusion用試験電圧:出力範囲】-10.0V～-1.0V及び1.0V～20.0V
【Extrusion用試験電圧:精度】±(設定値の2%+20mV)
【オーブン:温度制御範囲】+65～+350℃
【オーブン:温度変動幅】±1.0℃(+100℃)、±2.0℃(+200℃)、±3.5℃(+300℃)
【オーブン:温度分布】±3.5℃(at300℃)
【EMモジュール出力電流:オーブン1】200mA
【EMモジュール出力電流:オーブン2】200mA
【EMモジュール出力電流:オーブン3】200mA
【評価チャンネル数】240ch
【DUTボード:設置枚数】24(8×3オーブン)
【DUTボード:ICソケット】1ボードにつき各5(DIP 28-pin 600 mil and 300 mil共有)