PR-33-S 半導体製造プロセス向け屈折率計ヴァイサラ | 計測器

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ヴァイサラ

半導体製造プロセス向け屈折率計

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形名：PR-33-S

ヴァイサラ物理量測定器 PR-33-S

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商品説明

半導体製造プロセス中の薬液用の超高純度変性PTFEフローセル本体が付属した小型屈折率計です。1/4～1インチのピラーまたはフレア継手でプロセスに接続します。ヴァイサラ K-PATENTS 半導体製造プロセス向け屈折率計 PR-33-Sは、製造工場のクリーンルーム環境や統合プロセスツール(ブレンド、クリーニング、エッチング、CMP)で薬液濃度をモニタリングします。
特徴
・標準R.I.液によるN.I.S.T.にトレーサブルな校正、バリデーション、およびバリデーション済みの手順を提供
・特許取得済みのCORE光学モジュール(米国特許番号 US6067151)
・イーサネット経由のリモートパネルでデータロギングとリモート操作が可能
・通信は標準プロトコルUDP/IPにより構築
・プロセス温度範囲:-20～+85°C
・組み込みのPt1000および自動デジタル温度補正により、プロセス温度の高速計測を実現