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商品説明
国内メーカーで初めて製品化した12インチウェハ対応セミオートプローバーです。微少電流測定・容量測定で実績のあるVector chuckを搭載し、高低温Chuck、プローブカード、金属顕微鏡、レーザーカッター、高周波プローブ等、多彩なアクセサリーを揃えており、ユーザーのあらゆる要望にも対応が可能です。
高低温用chuck搭載することで、常温から300℃・-40℃から200℃までの範囲のコントロールを可能とします。ジョイスティック・タッチパネルによる優れた操作系を持つことで、容易で正確な操作が可能です。
商品スペック
>>もっと見る【ウェハー対応】12インチ
【動作温度範囲】常温~300℃
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