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[マニュアル] Installation Guide 4072A Advanced Parametric Tester Agilent 4073A Ultra Advanced Param

ウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタ

商品紹介

高度なプロセスおよび特性評価のニーズに最適な選択肢です。Keysight 4073Aウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタとKeysight SPECSを併用すると、高精度DC測定、キャパシタンス測定、フラッシュ・メモリ・セルのテスト、その他の高周波アプリケーションのテストが行えます。
最大で8個のソース・モニタ・ユニット(SMU)をサポートし、その内の2個を高分解能SMU(HRSMU)に、その内の2個をハイ・パワーSMU(HPSMU)にできます。
各SMUは自己校正機能を持ち、電流または電圧の印加と測定を同時に実行するように設定できます。
パラメトリック・テスト用のトータル・ソリューション
効率的かつ総合的なパラメトリック・テスト・ソリューションには優れたハードウェアとともに優れたソフトウェアが必要です。
この要件を満足させるために、4073Aでは様々なパラメトリック・テスト・ソフトウェア・ソリューションと互換性のある汎用システム・ソフトウェア環境を搭載し、KeysightのSPECS(半導体プロセス評価コア・ソフトウェア)テスト・シェル、SPECS-FA、VPA/PME、PDQ-WLRなどを使用できるようにしています。
ソフトウェアの詳細は、下の関連製品 & サービスをクリックしてください。
特長
・ 最大8個のソース・モニタ・ユニット(SMU)をサポート
・ 高分解能SMUを最大2個で、ハイ・パワーSMU(HPSMU)を最大2個サポート
・ 2個のHRSMUと2個のHPSMUをインストールした場合、中パワーSMUは2個のみ追加可能
・ SMUの自己校正により、個別に電流または電圧の印加が設定可能
・ 8個の補助入力ポートまたは48個の拡張パス入力経由で外部測定器をシステムに統合可能
・ 12~48個の出力ピンにカスタマイズ可能な、フル・ガード付きケルビン出力ピンに対して全入力を接続できる低リーク・スイッチング・マトリックス
・ パルス・ジェネレータ制御機能内蔵の高周波スイッチング・マトリックス
サポート
4070シリーズの標準サポート期間は2018年11月30日までとなっております。
その後については延長サポート期間を2021年11月30日まで3年間、一定の条件と制限の下でご提供する予定です。

延長サポート契約を結ばれたお客様向けに、主要部品をあらかじめ調達し、在庫を確保することで、標準サポート期間終了後も修理サービスをできるだけ長く維持させます。
部品は過去数年間の消費実績をもとに在庫しますが、製造期間中のようにすべての故障・部品を保証できるわけではありません。
万が一、該当部品の調達がかなわず修理復旧が不能となった場合には、その時点で契約を継続するかどうかご判断いただき、以後の期間については解約手続きをとることができます。
延長サポート契約提供期間:2018年12月1日~2021年11月30日(1年ごとの更新/複数年契約ともに可能です)
*延長サポート契約に加入されていない機器については、使用できる部品が汎用部品に限られるため、修理可能な範囲も限定的となります。
*校正は引き続き提供いたします。
*機器のアップグレード、延長サポート契約のご加入については、以下窓口までお問い合わせください。
計測お客様窓口
■主な特長と仕様
特長
・ HPSMUおよびHRSMUそれぞれ2個まで、合計8個までのSMUをサポート
・ 低リーケージ・スイッチング・マトリクス、完全にガードされた12~48のケルビン出力にカスタマイズ可能
・ パルス・ジェネレータ制御機能つき高周波スイッチング・マトリクス
・ 外部機器サポートのための補助入力8ヶおよび拡張経路入力48ヶ
測定能力
・ 2 μVおよび1 fAの測定分解能(HRSMU)
・ ± 200 Vおよび± 1 Aの出力能力(HPSMU)
・ 1 kHz~1 MHzのキャパシタンス測定周波数レンジ(4284AまたはE4980A使用時)
・ ± 1.6 Aのグランド・ユニット(GNDU)
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