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[その他] Product Fact Sheet Keysight Laser Interferometer Electronics

高性能リモート・レシーバ

商品紹介

サブナノメータの測定分解能が要求される厳しいアプリケーションに適しています。E1708Aの11倍の感度があり、アプリケーションの軸数を2倍以上に増やすことができます。
また、このレシーバはE1708Aの2倍以上の帯域幅を持っているので、線形光学系で2m/s(平面鏡の光学系で1m/s)の速度で変位を正確に測定できます。
ステージ速度が変化すると測定信号の周波数が変化します。E1709Aは、こうした周波数変化による位相処理誤差を最小限にします。このレシーバは、ステージ移動時のピッチやロール、ヨーといった小さな揺れに起因する測定信号のパワー変化による誤差に対するイミュニティもあります。こうした優れた機能を使用して、移動システムで正確な測定を行うことができます。
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