光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。また、多層膜の層構造および層内部の異物計測を非破壊で行うことも可能です。
材料の平たん化や薄膜化、微細構造化が急速に進み、従来、一般的であったSPM(走査型プローブ顕微鏡)や触針式粗さ計、レーザー顕微鏡などを上回る計測精度が求められています。
光の干渉現象を利用する走査型白色干渉顕微鏡を、より使いやすく、手軽に導入できるようにした本製品では、高精度かつ広範囲な表面形状計測を高速に行うことができます。
特長
1.高分解能・広範囲
2.高い測定再現性
3.高速測定
4.非破壊計測
5.簡単計測
6.柔軟な導入